Invention Grant
CN107587121B 类金刚石薄膜和镜片的制备方法
失效 - 权利终止
- Patent Title: 类金刚石薄膜和镜片的制备方法
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Application No.: CN201710657916.8Application Date: 2017-08-03
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Publication No.: CN107587121BPublication Date: 2019-08-13
- Inventor: 王新华
- Applicant: 深圳市科益实业有限公司
- Applicant Address: 广东省深圳市龙华新区龙华办事处清湖社区硅谷动力清湖园A8栋1楼
- Assignee: 深圳市科益实业有限公司
- Current Assignee: 深圳市科益实业有限公司
- Current Assignee Address: 广东省深圳市龙华新区龙华办事处清湖社区硅谷动力清湖园A8栋1楼
- Agency: 深圳精智联合知识产权代理有限公司
- Agent 夏声平
- Main IPC: C23C16/511
- IPC: C23C16/511 ; C23C16/26 ; C08J5/18 ; C08K3/36 ; C08L63/00

Abstract:
本发明涉及新材料技术领域,尤其是一种镜片,其制备步骤包括:提供一透明基底;利用微波等离子体化学气相沉积方法,在反应腔中通入甲烷、氢气和氧气的混合气体,控制温度为400℃、微波功率为1.5kw~2.5kw,气压20~30mbar,在所述透明基底下表面形成亲水性类金刚石薄膜;利用微波等离子体化学气相沉积方法,在反应腔中通入甲烷、氢气和氧气的混合气体,控制温度为400℃、微波功率为3kw~4kw,气压35~45mbar,在所述透明基底上表面形成疏水性类金刚石薄膜。本发明通过控制反应条件,获得亲水性/疏水性类金刚石薄膜,并将两种类金刚石薄膜应用于镜片制备中,具有很好的应用。
Public/Granted literature
- CN107587121A 类金刚石薄膜和镜片的制备方法 Public/Granted day:2018-01-16
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