类金刚石薄膜和镜片的制备方法
Abstract:
本发明涉及新材料技术领域,尤其是一种镜片,其制备步骤包括:提供一透明基底;利用微波等离子体化学气相沉积方法,在反应腔中通入甲烷、氢气和氧气的混合气体,控制温度为400℃、微波功率为1.5kw~2.5kw,气压20~30mbar,在所述透明基底下表面形成亲水性类金刚石薄膜;利用微波等离子体化学气相沉积方法,在反应腔中通入甲烷、氢气和氧气的混合气体,控制温度为400℃、微波功率为3kw~4kw,气压35~45mbar,在所述透明基底上表面形成疏水性类金刚石薄膜。本发明通过控制反应条件,获得亲水性/疏水性类金刚石薄膜,并将两种类金刚石薄膜应用于镜片制备中,具有很好的应用。
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