Invention Grant
- Patent Title: 基于纳米压印制备具有表面等离子体的垂直结构的发光二极管的方法
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Application No.: CN201710776199.0Application Date: 2017-08-31
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Publication No.: CN107611231BPublication Date: 2019-10-11
- Inventor: 云峰 , 郭茂峰
- Applicant: 西安交通大学
- Applicant Address: 陕西省西安市碑林区咸宁西路28号
- Assignee: 西安交通大学
- Current Assignee: 西安交通大学
- Current Assignee Address: 陕西省西安市碑林区咸宁西路28号
- Agency: 西安通大专利代理有限责任公司
- Agent 闵岳峰
- Main IPC: H01L33/00
- IPC: H01L33/00 ; H01L33/20

Abstract:
本发明公开了一种基于纳米压印制备具有表面等离子体的垂直结构的发光二极管的方法,包括:1)在蓝宝石衬底表面上生长外延层,并于外延层上制备第一层粘合层,同时在转移衬底表面上制备第二层粘合层;2)将第一层粘合层和第二层粘合层连接在一起,然后将蓝宝石衬底和外延层分离开;3)利用纳米压印技术,在外延层的表面上制备微纳尺寸图形,将微纳尺寸图形转移到外延层上形成微纳孔洞,并在转移到外延层之上的微纳孔洞内制备形成表面等离子体共振耦合金属;4)利用干法刻蚀工艺,将剥离后的外延层刻蚀到N型重掺杂层,再在该N型重掺杂层上制备N型欧姆接触电极,最后在芯片表面制备钝化保护层,完成表面等离子体垂直结构发光二极管的制备。
Public/Granted literature
- CN107611231A 基于纳米压印制备表面等离子体垂直结构发光二极管的方法 Public/Granted day:2018-01-19
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IPC分类: