Invention Grant
- Patent Title: 一种二自由度气浮运动平台
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Application No.: CN201710766232.1Application Date: 2017-08-30
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Publication No.: CN107633868BPublication Date: 2019-08-13
- Inventor: 陈学东 , 孙一休 , 李小清 , 马德林
- Applicant: 华中科技大学
- Applicant Address: 湖北省武汉市洪山区珞喻路1037号
- Assignee: 华中科技大学
- Current Assignee: 武汉格蓝若精密技术有限公司
- Current Assignee Address: 430205 湖北省武汉市东湖新技术开发区光谷六路88号光谷创新天地B12栋T4单元7层01室
- Agency: 华中科技大学专利中心
- Agent 曹葆青; 李智
- Main IPC: G12B5/00
- IPC: G12B5/00

Abstract:
本发明属于大行程高精度定位平台相关技术领域,其公开了一种二自由度气浮运动平台,其包括大理石底座、第一X向运动组件、第二X向运动组件及Y向运动组件,所述第一X向运动组件及所述第二X向运动组件分别设置在所述大理石底座相背的两端,所述Y向运动组件的两端分别连接于所述第一X向运动组件及所述第二X向运动组件;所述第一X向运动组件包括设置在所述大理石底座上的第一X向大理石导轨、套在所述第一X向大理石导轨上的第一X向滑块及第一X向水平气浮块,所述第一X向水平气浮块设置在所述第一X向滑块上,其用于自动调节所述第一X向滑块与所述第一X向大理石导轨之间的气膜厚度。本发明通过气浮块保持气膜厚度不变,提高定位精度。
Public/Granted literature
- CN107633868A 一种二自由度气浮运动平台 Public/Granted day:2018-01-26
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