一种二自由度气浮运动平台
Abstract:
本发明属于大行程高精度定位平台相关技术领域,其公开了一种二自由度气浮运动平台,其包括大理石底座、第一X向运动组件、第二X向运动组件及Y向运动组件,所述第一X向运动组件及所述第二X向运动组件分别设置在所述大理石底座相背的两端,所述Y向运动组件的两端分别连接于所述第一X向运动组件及所述第二X向运动组件;所述第一X向运动组件包括设置在所述大理石底座上的第一X向大理石导轨、套在所述第一X向大理石导轨上的第一X向滑块及第一X向水平气浮块,所述第一X向水平气浮块设置在所述第一X向滑块上,其用于自动调节所述第一X向滑块与所述第一X向大理石导轨之间的气膜厚度。本发明通过气浮块保持气膜厚度不变,提高定位精度。
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