Invention Grant
- Patent Title: 一种对玻璃基板进行烘干和冷却的方法及装置
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Application No.: CN201711008421.9Application Date: 2017-10-25
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Publication No.: CN107640911BPublication Date: 2019-10-11
- Inventor: 魏凡
- Applicant: 武汉华星光电技术有限公司
- Applicant Address: 湖北省武汉市武汉东湖开发区高新大道666号生物城C5栋
- Assignee: 武汉华星光电技术有限公司
- Current Assignee: 武汉华星光电技术有限公司
- Current Assignee Address: 湖北省武汉市武汉东湖开发区高新大道666号生物城C5栋
- Agency: 深圳汇智容达专利商标事务所
- Agent 潘中毅; 熊贤卿
- Main IPC: C03C23/00
- IPC: C03C23/00 ; C03C17/00 ; G02F1/13

Abstract:
本发明实施例公开了一种对玻璃基板进行烘干和冷却的方法,包括步骤:将经过清洗装置清洗后的玻璃基板,通过第一滚轮装置移入一烘干室;通过所述烘干室中设置的红外加热板,对所述玻璃基板进行烘干处理;将所述烘干后的玻璃基板,通过第二滚轮装置移入一冷却室;通过所述冷却室中设置的冷却板,对所述烘干后的玻璃基板进行冷却处理;将冷却后的玻璃基板传送至气浮式涂布机的涂布前平台上,以对所述玻璃基板进行涂布处理。本发明还提供了相应的装置。实施本发明实施例,可以减少玻璃基板进行涂布前的异物微粒物的数量,且烘干效果好。
Public/Granted literature
- CN107640911A 一种对玻璃基板进行烘干和冷却的方法及装置 Public/Granted day:2018-01-30
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