一种对玻璃基板进行烘干和冷却的方法及装置
Abstract:
本发明实施例公开了一种对玻璃基板进行烘干和冷却的方法,包括步骤:将经过清洗装置清洗后的玻璃基板,通过第一滚轮装置移入一烘干室;通过所述烘干室中设置的红外加热板,对所述玻璃基板进行烘干处理;将所述烘干后的玻璃基板,通过第二滚轮装置移入一冷却室;通过所述冷却室中设置的冷却板,对所述烘干后的玻璃基板进行冷却处理;将冷却后的玻璃基板传送至气浮式涂布机的涂布前平台上,以对所述玻璃基板进行涂布处理。本发明还提供了相应的装置。实施本发明实施例,可以减少玻璃基板进行涂布前的异物微粒物的数量,且烘干效果好。
Public/Granted literature
Patent Agency Ranking
0/0