Invention Grant
- Patent Title: 低缺陷多孔抛光垫
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Application No.: CN201710644484.7Application Date: 2017-08-01
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Publication No.: CN107685283BPublication Date: 2019-08-13
- Inventor: H·桑福德-克瑞 , 罗水源
- Applicant: 罗门哈斯电子材料CMP控股股份有限公司
- Applicant Address: 美国特拉华州
- Assignee: 罗门哈斯电子材料CMP控股股份有限公司
- Current Assignee: 杜邦电子材料控股股份有限公司
- Current Assignee Address: 美国特拉华州
- Agency: 上海专利商标事务所有限公司
- Agent 陈哲锋; 胡嘉倩
- Priority: 15/228996 2016.08.04 US
- Main IPC: B24B37/26
- IPC: B24B37/26 ; B24B37/22

Abstract:
抛光垫适用于使用抛光流体以及所述抛光垫与半导体、光学和磁衬底中的至少一个之间的相对运动来抛光或平面化半导体、光学和磁衬底中的所述至少一个。抛光层具有开孔聚合基质、抛光表面,所述抛光层中的多个凹槽。多个凸出槽脊区域用从所述底部多个凸出槽脊区域向外并且向下延伸的锥形支撑结构支持。所述多个凸出槽脊区域具有小于所述多个凹槽的平均宽度的平均宽度,以便减少所述凸出槽脊区域的抛光停留时间并且增加所述凹槽区域的碎屑去除停留时间到大于所述抛光停留时间的值。
Public/Granted literature
- CN107685283A 低缺陷多孔抛光垫 Public/Granted day:2018-02-13
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