一种基于半频静电激振的高频体模态谐振器测试方法
Abstract:
一种基于半频静电激振的高频体模态谐振器测试方法,包括开环测试方法和闭环测试方法,开环测试方法适用于实验室环境中高频体模态谐振器的标定测试;闭环测试方法适用于工业现场中高频体模态谐振器的实际应用;本发明利用半频波静电激振谐振器的原理,将馈穿电流降为二分频,而由谐振器振动产生的动态电流仍为原先频率,二者被分隔在不同的频段,通过外部电路可以将馈穿电流带来的噪声去除,大大提高了谐振器测试的信噪比,进而提高了硅微振荡器的性能参数。
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