一种光学系统轴向参数测量装置及方法
Abstract:
本发明公开了一种光学系统轴向参数测量装置及方法,该装置包括:低相干测量单元、高相干标尺单元、扫描单元、量程倍增单元和信号处理单元,低相干测量单元用于产生低相干干涉波;高相干标尺单元用于产生高相干干涉波;低相干参考光和高相干测量光均经过扫描单元,扫描单元用于为低相干干涉波和高相干干涉波提供同一光学延时线;量程倍增单元用于采集低相干测量单元产生的低相干干涉波以及扩大测量量程的范围;信号处理单元用于以高相干干涉波为参考基准,对量程倍增单元采集到的低相干干涉波进行分析处理,得到光学系统各介质分界面之间的轴向距离。本发明提供的光学系统轴向参数测量装置及方法具有测量范围大、信噪比高、测量快速准确的特点。
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