Invention Grant
- Patent Title: 高电子迁移率晶体管的热可靠性评估方法
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Application No.: CN201711027420.9Application Date: 2017-10-27
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Publication No.: CN107783022BPublication Date: 2019-10-11
- Inventor: 马晓华 , 武玫 , 郝跃 , 闵丹 , 王瑜
- Applicant: 西安电子科技大学
- Applicant Address: 陕西省西安市雁塔区太白南路2号
- Assignee: 西安电子科技大学
- Current Assignee: 西安电子科技大学
- Current Assignee Address: 陕西省西安市雁塔区太白南路2号
- Agency: 陕西电子工业专利中心
- Agent 王品华; 朱红星
- Main IPC: G01R31/26
- IPC: G01R31/26 ; G06F17/50

Abstract:
本发明公开了一种高电子迁移率晶体管热可靠性的评估方法,主要解决现有方法对器件热可靠性评估不准确的问题,其实现方案是:1)采用脉冲法测量不同温度下器件的输出特性,提取饱和漏电流随温度的变化关系作为校准曲线;2)采用直流法测量室温下器件的输出特性,并结合校准曲线提取不同功率下的器件沟道的平均温度;3)基于被测器件的各参数利用有限元软件ANSYS建立三维有限元热模型,将不同功率下的测试结果与仿真所得到的沟道平均温度进行对照,验证模型的准确性;4)利用模型仿真推导出器件结温、热分布,并计算峰值热阻,实现对器件热可靠性的评估。本发明对热可靠性的评估准确度高,操作简单,适用于多种结构的高电子迁移率晶体管。
Public/Granted literature
- CN107783022A 高电子迁移率晶体管的热可靠性评估方法 Public/Granted day:2018-03-09
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