高电子迁移率晶体管的热可靠性评估方法
Abstract:
本发明公开了一种高电子迁移率晶体管热可靠性的评估方法,主要解决现有方法对器件热可靠性评估不准确的问题,其实现方案是:1)采用脉冲法测量不同温度下器件的输出特性,提取饱和漏电流随温度的变化关系作为校准曲线;2)采用直流法测量室温下器件的输出特性,并结合校准曲线提取不同功率下的器件沟道的平均温度;3)基于被测器件的各参数利用有限元软件ANSYS建立三维有限元热模型,将不同功率下的测试结果与仿真所得到的沟道平均温度进行对照,验证模型的准确性;4)利用模型仿真推导出器件结温、热分布,并计算峰值热阻,实现对器件热可靠性的评估。本发明对热可靠性的评估准确度高,操作简单,适用于多种结构的高电子迁移率晶体管。
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