一种X射线波带片的制备方法
Abstract:
一种X射线波带片的制备方法,采用原子层沉积(ALD)方法在直径为微米级的金属丝表面交替沉积氧化铝/氧化铪,或者氧化铝/铱等两种密度不同、厚度不同的薄膜,即第一层沉积氧化铝薄膜,第二层沉积氧化铪薄膜或铱薄膜,如此交替循环,形成一系列同心圆环。镀膜完成后利用聚焦离子束对镀膜后金属丝进行切割、抛光,最终得到所需厚度和精度的波带片。本发明适合于多种波带片的制备。
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