本发明提供一种表面处理装置，能够抑制因粉尘的混入而导致的不良产生。辊(40)以能够旋转的方式固定在从横防护壁(49)突出设置的旋转轴(72)上。横防护壁(49)垂直固定在下防护壁(47)上，该下防护壁(47)固定在外壁(39)上。吊架(50)的垂下板(64)穿过两侧的下防护壁(47)之间的空间(43)而对夹紧件(52)进行支承。在由横防护壁(49)、下防护壁(47)、外壁(39)形成的空间中充满了水等液体(41)。液体(41)被充满到将旋转轴(72)的一半覆盖的程度。因此，能够通过液体(41)来捕捉搬送机构所产生的微小的粉尘，防止粉尘在空气中漂浮而从空间(34)朝向基板(54)进入。