Invention Grant
CN108025484B 压印用模具的制造方法
失效 - 权利终止
- Patent Title: 压印用模具的制造方法
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Application No.: CN201680052313.9Application Date: 2016-09-14
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Publication No.: CN108025484BPublication Date: 2019-10-11
- Inventor: 坂田郁美 , 武田亚衣
- Applicant: 综研化学株式会社
- Applicant Address: 日本国东京都丰岛区高田3丁目29番5号
- Assignee: 综研化学株式会社
- Current Assignee: 综研化学株式会社
- Current Assignee Address: 日本国东京都丰岛区高田3丁目29番5号
- Agency: 北京汇思诚业知识产权代理有限公司
- Agent 龚敏; 王刚
- Priority: 2015-184535 2015.09.17 JP
- International Application: PCT/JP2016/077098 2016.09.14
- International Announcement: WO2017/047635 JA 2017.03.23
- Date entered country: 2018-03-09
- Main IPC: B29C59/04
- IPC: B29C59/04 ; B29C33/38 ; H01L21/027

Abstract:
本发明提供不易产生转印不良的压印用模具的制造方法。根据本发明,所述压印用模具的制造方法具备如下工序:卷绕工序,将具有形成有由所期望的微细凹凸图案的反转图案构成的基体图案的树脂层的膜模具,以能够在两端的对接部形成不存在上述基体图案的间隙的方式卷绕于圆柱形的转印辊;树脂填充工序,向上述间隙填充树脂组合物;以及,图案形成工序,将设置在图案追加模具的转印图案按压于上述树脂组合物而将由上述转印图案的反转图案构成的追加图案形成在上述树脂组合物上;上述树脂组合物以如下方式填充:在将上述图案追加模具按压于上述树脂组合物之前或者将上述图案追加模具按压于上述树脂组合物之时,上述树脂组合物从上述间隙溢出而在上述树脂层的表面上形成上述树脂组合物的溢出部分。
Public/Granted literature
- CN108025484A 压印用模具的制造方法 Public/Granted day:2018-05-11
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