包含可裂解交联剂的图案化膜制品和方法
Abstract:
本发明提供了一种包括具有衍生自可裂解交联单体的聚合单元的共聚物的图案制品,通过从热酸产生剂或光酸产生剂释放初始酸而将图案赋予此图案制品。作为初始酸裂解了交联中的一部分的结果,酸的选择性释放提供了具有高交联密度和低交联密度的图案。
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