Invention Grant
- Patent Title: 柔性触角传感器及其制造方法
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Application No.: CN201680046396.0Application Date: 2016-02-04
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Publication No.: CN108139283BPublication Date: 2021-04-13
- Inventor: 金建年 , 朴洸范 , 金原孝 , 郭莲花
- Applicant: 电子部品研究院
- Applicant Address: 韩国京畿道
- Assignee: 电子部品研究院
- Current Assignee: 电子部品研究院
- Current Assignee Address: 韩国京畿道
- Agency: 北京三友知识产权代理有限公司
- Agent 金玲
- Priority: 10-2015-0111692 20150807 KR
- International Application: PCT/KR2016/001245 2016.02.04
- International Announcement: WO2017/026610 KO 2017.02.16
- Date entered country: 2018-02-07
- Main IPC: G01L1/22
- IPC: G01L1/22 ; H01L21/768

Abstract:
本发明涉及一种柔性触角传感器及其制造方法,而柔性触角传感器,包括:聚合物层;第一金属层,形成于上述聚合物层的上部;第一传感器层,包括形成于上述第一金属层的上部并根据变形改变电阻值的应变仪及连接于上述应变仪的金属线;第一覆盖层,保护上述第一传感器层;第二金属层,形成于上述聚合物层的下部;第二传感器层,包括形成于上述第二金属层的下部并根据变形改变电阻值的应变仪及连接于上述应变仪的金属线;及第二覆盖层,保护上述第二传感器层。
Public/Granted literature
- CN108139283A 柔性触角传感器及其制造方法 Public/Granted day:2018-06-08
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