柔性触角传感器及其制造方法
Abstract:
本发明涉及一种柔性触角传感器及其制造方法,而柔性触角传感器,包括:聚合物层;第一金属层,形成于上述聚合物层的上部;第一传感器层,包括形成于上述第一金属层的上部并根据变形改变电阻值的应变仪及连接于上述应变仪的金属线;第一覆盖层,保护上述第一传感器层;第二金属层,形成于上述聚合物层的下部;第二传感器层,包括形成于上述第二金属层的下部并根据变形改变电阻值的应变仪及连接于上述应变仪的金属线;及第二覆盖层,保护上述第二传感器层。
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