Invention Grant
- Patent Title: 一种WC硬质合金薄膜及其梯度层技术室温制备方法
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Application No.: CN201711431282.0Application Date: 2017-12-26
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Publication No.: CN108149198BPublication Date: 2019-10-11
- Inventor: 吕建国 , 胡睿
- Applicant: 浙江大学
- Applicant Address: 浙江省杭州市西湖区余杭塘路866号
- Assignee: 浙江大学
- Current Assignee: 浙江大学
- Current Assignee Address: 浙江省杭州市西湖区余杭塘路866号
- Agency: 杭州宇信知识产权代理事务所
- Agent 梁群兰
- Main IPC: C23C14/16
- IPC: C23C14/16 ; C23C14/06 ; C23C14/35 ; C23C14/14

Abstract:
本发明公开了一种WC硬质合金薄膜,在基底上,依次包括W底层、W‑WC梯度层、WC顶层;其中W底层为缓冲层;W‑WC梯度层为组分渐变过渡层;WC顶层为晶态WC薄膜,其X射线衍射峰为(100)峰,具有六方相结构,其W:C的原子百分比为51.8:48.2;所述WC硬质合金薄膜的显微硬度高于24GPa,与基底的附着力高于35N。本发明还公开了制备上述WC硬质合金薄膜的方法,采用直流磁控溅射方法,先在衬底上沉积W薄膜为底层薄膜作为缓冲层;然后在W底层薄膜上室温生长W‑WC梯度层薄膜;最后在W‑WC梯度层薄膜生长完成后,在其上室温生长WC薄膜,该WC薄膜即为顶层薄膜。本发明利用W‑WC梯度层技术,结合W缓冲层技术和等离子体增强技术,有效提高了室温生长WC薄膜质量。
Public/Granted literature
- CN108149198A 一种WC硬质合金薄膜及其梯度层技术室温制备方法 Public/Granted day:2018-06-12
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