一种WC硬质合金薄膜及其梯度层技术室温制备方法
Abstract:
本发明公开了一种WC硬质合金薄膜,在基底上,依次包括W底层、W‑WC梯度层、WC顶层;其中W底层为缓冲层;W‑WC梯度层为组分渐变过渡层;WC顶层为晶态WC薄膜,其X射线衍射峰为(100)峰,具有六方相结构,其W:C的原子百分比为51.8:48.2;所述WC硬质合金薄膜的显微硬度高于24GPa,与基底的附着力高于35N。本发明还公开了制备上述WC硬质合金薄膜的方法,采用直流磁控溅射方法,先在衬底上沉积W薄膜为底层薄膜作为缓冲层;然后在W底层薄膜上室温生长W‑WC梯度层薄膜;最后在W‑WC梯度层薄膜生长完成后,在其上室温生长WC薄膜,该WC薄膜即为顶层薄膜。本发明利用W‑WC梯度层技术,结合W缓冲层技术和等离子体增强技术,有效提高了室温生长WC薄膜质量。
Public/Granted literature
Patent Agency Ranking
0/0