Invention Grant
- Patent Title: 一种电容式三维风速风向传感器
-
Application No.: CN201711172065.4Application Date: 2017-11-21
-
Publication No.: CN108152531BPublication Date: 2019-10-11
- Inventor: 易真翔 , 叶一舟 , 高适萱 , 秦明 , 黄庆安
- Applicant: 东南大学
- Applicant Address: 江苏省南京市玄武区四牌楼2号
- Assignee: 东南大学
- Current Assignee: 东南大学
- Current Assignee Address: 江苏省南京市玄武区四牌楼2号
- Agency: 南京苏高专利商标事务所
- Agent 柏尚春
- Main IPC: G01P5/08
- IPC: G01P5/08 ; G01P13/02

Abstract:
本发明公开了一种电容式三维风速风向传感器,所述传感器包括第一微柱、第二微柱、衬底、第一空气层、第二空气层、第一层金属极板单元、第二层金属极板单元和第三层金属极板单元;所述第一微柱连接在衬底的顶面,第二微柱连接在衬底的底面,第一空气层、第二空气层和金属极板单元位于衬底中,第一层金属极板单元、第一空气层、第二层金属极板单元、第二空气层和第三层金属极板单元从上向下依次布设;第一空气层中设有第一微支点,第二空气层中设有第二微支点,第一微支点和第二微支点分别与衬底连接;第一层金属极板单元、第二层金属极板单元和第三层金属极板单元嵌在衬底中,可用引线引出。该传感器可以实现零功耗,同时提高风速测量的可靠性。
Public/Granted literature
- CN108152531A 一种电容式三维风速风向传感器 Public/Granted day:2018-06-12
Information query
IPC分类: