磁检测装置及其制造方法
Abstract:
提供一种通过在形成于基板的凹部的倾斜侧面形成磁阻效应元件来检测X-Y-Z方向的各方向的磁的磁检测装置及其制造方法。在Z检测部(10),在Z检测凹部(11A、11B)的倾斜侧面(13、14)设置有磁阻效应元件(40(R1、R2、R3、R4)),在X检测部(20),在X检测凹部(21A、21B)的倾斜侧面(23、24)设置有磁阻效应元件(40(R5、R6、R7、R8)),在Y检测部(30),在Y检测凹部(31A、31B)的倾斜侧面(33、34)设置有磁阻效应元件(40(R9、R10、R11、R12))。各个磁阻效应元件(40)的固定磁性层的固定磁化(P)被决定为实线的箭头所示的方向。
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