Invention Grant
- Patent Title: 磁检测装置及其制造方法
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Application No.: CN201680070673.1Application Date: 2016-12-02
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Publication No.: CN108291948BPublication Date: 2021-04-13
- Inventor: 梅津英治
- Applicant: 阿尔卑斯阿尔派株式会社
- Applicant Address: 日本东京都
- Assignee: 阿尔卑斯阿尔派株式会社
- Current Assignee: 阿尔卑斯阿尔派株式会社
- Current Assignee Address: 日本东京都
- Agency: 永新专利商标代理有限公司
- Agent 刘杰
- Priority: 2015-236855 20151203 JP
- International Application: PCT/JP2016/085921 2016.12.02
- International Announcement: WO2017/094889 JA 2017.06.08
- Date entered country: 2018-06-01
- Main IPC: G01R33/09
- IPC: G01R33/09 ; G01R33/02 ; H01L43/08

Abstract:
提供一种通过在形成于基板的凹部的倾斜侧面形成磁阻效应元件来检测X-Y-Z方向的各方向的磁的磁检测装置及其制造方法。在Z检测部(10),在Z检测凹部(11A、11B)的倾斜侧面(13、14)设置有磁阻效应元件(40(R1、R2、R3、R4)),在X检测部(20),在X检测凹部(21A、21B)的倾斜侧面(23、24)设置有磁阻效应元件(40(R5、R6、R7、R8)),在Y检测部(30),在Y检测凹部(31A、31B)的倾斜侧面(33、34)设置有磁阻效应元件(40(R9、R10、R11、R12))。各个磁阻效应元件(40)的固定磁性层的固定磁化(P)被决定为实线的箭头所示的方向。
Public/Granted literature
- CN108291948A 磁检测装置及其制造方法 Public/Granted day:2018-07-17
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