一种精密加载式压电直线电机及其驱动方法
Abstract:
本发明公开了一种精密加载式压电直线电机及其驱动方法,以解决当前压电驱动器由于受到尺寸、重量、运动副间隙等方面的制约,很难实现大行程、高精度的精密运动。该压电驱动器由底座、导轨组件、安装螺钉Ⅰ、定子组件、安装螺钉Ⅱ、导向机构、挡板、固定螺钉Ⅰ、螺纹副和锁紧螺钉组成。本发明由双陶瓷折梁柔性铰链产生的斜向力和对压电驱动器的激励方法对摩擦力进行综合调控,具有结构紧凑、装配方便、定位精度高及行程大等特点。在精密光学仪器、半导体加工等微纳精密驱动与定位技术领域能够由广泛的应用前景。
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