描述用于测量流动流体的至少一个被测变量尤其是密度、流量和/或粘度的MEMS传感器，包括：至少一个微流体通道(1、21)，其具有可激励以执行振荡的至少一个通道部分(7、7a、27)；以及激励器系统(E)，用于激励期望振荡模式，所述通道部分(7、7a、27)在预定振荡平面(x‑y)中执行振荡。MEMS传感器具有通过以下特征实现的改进振荡特征：通道部分(7、7a、27)由各向异性材料组成，各向异性材料具有方向相关弹性并且被空间上取向以使得为通道部分(7、7a、27)的刚度相对于通道部分(7、7a、27)垂直于振荡平面(x‑y)的偏转的确定的弹性模量大于为通道部分(7、7a、27)的刚度相对于通道部分(7、7a、27)在振荡平面(x‑y)中的偏转确定的弹性模量。