具有纳米级二氧化硅光栅钝化层的GaN基发光二极管及其加工方法
Abstract:
本发明公开了一种具有纳米级SiO2光栅钝化层的GaN基发光二极管及其加工方法,包括衬底和外延层,外延层包括AlN成核层、GaN缓冲层、n型GaN层、InGaN/GaN超晶格层、In0.16Ga0.84N多量子阱层、p‑AlGaN/GaN电子阻挡层和p型GaN层,刻蚀部分外延层至n型GaN层,外延层未刻蚀部分形成梳齿型凸起结构,刻蚀部分形成与之匹配的梳齿型凹槽结构;在p型GaN层上设置ITO层、SiO2钝化层和P电极,在刻蚀暴露出的n型GaN层上设置N电极,N电极与n型GaN层之间沉积有SiO2钝化层,凸起结构侧壁上沉积有SiO2钝化层;其中,ITO层和SiO2钝化层具有沿P电极或N电极的形状均匀分布的图形化通孔结构。本发明一方面对发光二极管表面进行保护,并限制漏电流的产生,同时对电流进行扩展,减小电流集聚,提高了出光效率。
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