• Patent Title: 一种具有电磁屏蔽功能的红外透明窗口及其制备方法
  • Patent Title (English): Infrared transparent window with electromagnetic shielding function and preparation method thereof
  • Application No.: CN201810486410.X
    Application Date: 2018-05-21
  • Publication No.: CN108642473A
    Publication Date: 2018-10-12
  • Inventor: 陈梓敏王钢
  • Applicant: 中山大学
  • Applicant Address: 广东省广州市海珠区新港西路135号
  • Assignee: 中山大学
  • Current Assignee: 中山大学
  • Current Assignee Address: 广东省广州市海珠区新港西路135号
  • Agency: 广州圣理华知识产权代理有限公司
  • Agent 顿海舟; 李唐明
  • Main IPC: C23C16/40
  • IPC: C23C16/40 H01B5/14 H01B13/00
一种具有电磁屏蔽功能的红外透明窗口及其制备方法
Abstract:
本发明提供了一种具有电磁屏蔽功能的红外透明窗口的制备方法,所述窗口由蓝宝石衬底及其上方的氧化物膜叠层共同构成。所述蓝宝石衬底双面抛光、厚度100~10000μm,所述氧化物膜包括锡掺杂氧化铟(ITO)、铝掺杂氧化锌(AZO)、镓掺杂氧化锌(GZO)、氟掺杂氧化锡(FTO)中的一种或者多种的叠层,总厚度0.2~200μm,平均电子浓度不高于5×1019cm-3。所述红外透明窗口0.78~2.5μm波长范围内最低透过率为82%、2.5~5μm波长范围内最低透过率为53%,方块电阻低于100Ω/sq,对1~18GHz电磁波的屏蔽效率大于10dB。
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