用于光刻设备的控制系统和方法
Abstract:
一种用于在第一时基中的第一开始时间值初始化第一模块(120)中的第一操作的方法,该方法包括生成时钟信号(402,116),基于该时钟信号(116)在第一模块(120)中生成第二时基(403),确定第二时基中的第二同步值(405),确定与第二时基中第二同步值对应的第一时基中的第一同步值(406),基于第一时基中的第一同步值和开始时间值确定第二时基中的开始触发值(410),并基于第一模块(120)中第二时基的开始触发值和当前值来初始化第一模块(120)中的第一操作(411)。
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