Invention Grant
- Patent Title: 一种用于大批量微纳米颗粒包裹的原子层沉积装置
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Application No.: CN201810614134.0Application Date: 2018-06-14
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Publication No.: CN108715998BPublication Date: 2019-08-13
- Inventor: 陈蓉 , 李嘉伟 , 单斌 , 刘潇 , 曲锴 , 张晶
- Applicant: 华中科技大学
- Applicant Address: 湖北省武汉市洪山区珞喻路1037号
- Assignee: 华中科技大学
- Current Assignee: 华中科技大学
- Current Assignee Address: 湖北省武汉市洪山区珞喻路1037号
- Agency: 华中科技大学专利中心
- Agent 梁鹏; 曹葆青
- Main IPC: C23C16/455
- IPC: C23C16/455

Abstract:
本发明属于原子层沉积制备仪器相关领域,并公开了一种用于大批量微纳米颗粒包裹的原子层沉积装置,该装置包括颗粒容器和反应腔体,其中反应腔体的下端设置有进源口,进源口中密封设置有用于输入前驱体和载气的进气管;反应腔体的上端开设有腔门,颗粒容器可以自由放置于反应腔体中,或从中取出;颗粒容器下端设有进气孔,进气管通过进气孔进入颗粒容器的内腔。通过本发明,能够有效将气流内循环与外循环的方法相结合,显著增大颗粒间的碰撞及与气体分子的接触概率,提升反应速率和前驱体利用率,实现大批量微纳米颗粒的高质高效包覆。
Public/Granted literature
- CN108715998A 一种用于大批量微纳米颗粒包裹的原子层沉积装置 Public/Granted day:2018-10-30
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IPC分类: