Invention Grant
- Patent Title: 用于太赫兹波探测的器件
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Application No.: CN201810836884.2Application Date: 2017-06-26
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Publication No.: CN108807603BPublication Date: 2019-10-11
- Inventor: 孙云飞 , 班建民 , 陶重犇 , 刘传洋
- Applicant: 苏州科技大学
- Applicant Address: 江苏省苏州市苏州高新区科锐路1号
- Assignee: 苏州科技大学
- Current Assignee: 无锡北洋清安物联科技有限公司
- Current Assignee Address: 214000 江苏省无锡市新吴区清源路19号
- Agency: 苏州创元专利商标事务所有限公司
- Agent 孙周强; 陶海锋
- Main IPC: H01L31/18
- IPC: H01L31/18 ; H01L31/113 ; G01J1/42

Abstract:
本发明属于探测器技术领域,具体涉及一种用于太赫兹波探测的器件。以铝镓氮/镓氮高电子迁移率场效应晶体管(HEMT)为基本结构,通过衬底设计、利用外延法制备铝镓氮/镓氮层;然后制备有源区台面、栅介质、欧姆接触窗口、电极,得到的场效应晶体管中的二维电子气具有较高的电子浓度和迁移率,得到室温条件下对THz波实现高速、高灵敏度、高信噪比探测的波谱探测装置,最终实现对太赫兹波的探测。
Public/Granted literature
- CN108807603A 用于太赫兹波探测的器件 Public/Granted day:2018-11-13
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IPC分类: