Invention Grant
- Patent Title: 一种钇铝石榴石晶体的高效化学机械抛光方法
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Application No.: CN201810675798.8Application Date: 2018-06-27
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Publication No.: CN108838745BPublication Date: 2019-08-13
- Inventor: 金洙吉 , 安润莉 , 张自力 , 韩晓龙 , 康仁科 , 朱祥龙
- Applicant: 大连理工大学
- Applicant Address: 辽宁省大连市甘井子区凌工路2号
- Assignee: 大连理工大学
- Current Assignee: 大连理工大学
- Current Assignee Address: 辽宁省大连市甘井子区凌工路2号
- Agency: 大连理工大学专利中心
- Agent 李晓亮; 潘迅
- Main IPC: B24B1/00
- IPC: B24B1/00 ; B24B37/00 ; B24B37/11 ; C09G1/02

Abstract:
本发明属于硬脆材料超精密加工领域,提供一种钇铝石榴石晶体的高效化学机械抛光方法。该方法包含以下步骤:1)室温下,将磨料氧化锆、化学反应试剂氢氧化钠、添加剂加入去离子水中,超声震荡配制化学机械抛光液;2)采用IC1000抛光垫作为化学机械抛光用抛光垫,修整抛光垫;3)选取工艺参数,对钇铝石榴石晶片进行化学机械抛光。通过本发明,可以较高的材料去除率获得低损伤的钇铝石榴石晶片。
Public/Granted literature
- CN108838745A 一种钇铝石榴石晶体的高效化学机械抛光方法 Public/Granted day:2018-11-20
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