一种钇铝石榴石晶体的高效化学机械抛光方法
Abstract:
本发明属于硬脆材料超精密加工领域,提供一种钇铝石榴石晶体的高效化学机械抛光方法。该方法包含以下步骤:1)室温下,将磨料氧化锆、化学反应试剂氢氧化钠、添加剂加入去离子水中,超声震荡配制化学机械抛光液;2)采用IC1000抛光垫作为化学机械抛光用抛光垫,修整抛光垫;3)选取工艺参数,对钇铝石榴石晶片进行化学机械抛光。通过本发明,可以较高的材料去除率获得低损伤的钇铝石榴石晶片。
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