Invention Grant
- Patent Title: 制备非导电性材料样品的方法
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Application No.: CN201810939776.8Application Date: 2018-08-17
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Publication No.: CN109001240BPublication Date: 2021-04-13
- Inventor: 廖金枝 , 张兮 , 张南 , 华佑南 , 李晓旻
- Applicant: 胜科纳米(苏州)有限公司
- Applicant Address: 江苏省苏州市工业园区金鸡湖大道99号苏州纳米城西北区09栋507室
- Assignee: 胜科纳米(苏州)有限公司
- Current Assignee: 胜科纳米(苏州)股份有限公司
- Current Assignee Address: 江苏省苏州市工业园区金鸡湖大道99号苏州纳米城西北区09栋507室
- Agency: 上海思微知识产权代理事务所
- Agent 朱琳
- Main IPC: G01N23/2202
- IPC: G01N23/2202 ; G01N23/203 ; G01N23/2005
Abstract:
本发明提供一种制备非导电性材料样品的方法，在样品表面镀膜后，在待观测区域作相应的减薄，此时，镶嵌材料表面是镀有导电材料的，在材料表面形成一个有效的电子通路，即在样品台和镶嵌材料表面有导电通路，使得后面的入射电子不能在材料表面会聚，而影响信号的收集。本发明所使用的方法简单、快速、有效的解决了现有的非导电性材料在SEM/EBSD检测过程中而产生的电子积聚，或者由于导电镀膜过厚而影响到信号(如背反射电子)的收集问题。
Public/Granted literature
- CN109001240A 制备非导电性材料样品的方法 Public/Granted day:2018-12-14
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