• Patent Title: 一种聚合物薄膜孔状立体有机气体传感器制备方法
  • Patent Title (English): Preparation method of polymer film porous three-dimensional organic gas sensor
  • Application No.: CN201810945690.6
    Application Date: 2018-08-20
  • Publication No.: CN109142446A
    Publication Date: 2019-01-04
  • Inventor: 王璐刘昱含王丽娟孙丽晶佟万璐边奇朱彤
  • Applicant: 长春工业大学
  • Applicant Address: 吉林省长春市朝阳区延安大街2055号
  • Assignee: 长春工业大学
  • Current Assignee: 长春工业大学
  • Current Assignee Address: 吉林省长春市朝阳区延安大街2055号
  • Main IPC: G01N27/00
  • IPC: G01N27/00
一种聚合物薄膜孔状立体有机气体传感器制备方法
Abstract:
本发明是一种聚合物薄膜孔状立体有机气体传感器制备方法,采用玻璃衬底(1),Mo/Al/Mo底栅极(2),采用间歇式生长方式旋涂聚乙烯醇(PVA)和连续式生长方式旋涂聚苯乙烯(PS)形成复合绝缘层(3)形成平整的绝缘层表面。采用成核生长方式生长p‑六联苯(p‑6P)诱导层(4),采用快速蒸镀和慢速蒸镀相结合方式蒸镀酞菁氧钒(VOPc)形成孔状气体敏感层(5),最后蒸镀金材料作为底接触的叉指电极。该孔状结构的气体敏感层为分析物与传导通道中的电荷载流子相互作用提供了立体的直接接触通道,从而获得高灵敏度、快速响应的有机气体传感器。
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