本发明公开了一种低温等离子体处理污水收集、储存、处理环节释放气中VOCs的安全控制装置，包括用于实时检测VOCs工艺参数的工艺参数变送器、用于执行开闭动作的执行器和逻辑控制器，工艺参数变送器与执行器电路连接，执行器与逻辑控制器电路连接，工艺参数变送器将检测的信号传递给逻辑控制器，逻辑控制器分析信号后，指示执行器进行开闭动作。本发明通过将可靠的控制系统和关键的控制参数相结合，形成一套控制等离子处理VOCs工艺过程的安全控制装置，保证在使用等离子放电处理VOCs的过程中，通过严格控制流量、浓度、湿度和温度等关键安全工艺参数，避免危害因素产生，具有很高的可靠性和安全性。