提供了一种测量时钟抖动的方法、一种时钟抖动测量电路和一种半导体装置。所述时钟抖动测量电路包括：内部信号发生器，被配置为生成均与由时钟抖动测量电路接收的输入时钟信号同步的单脉冲信号和内部时钟信号；多个边沿延迟单元，彼此串联连接并且被配置为生成分别与通过延迟所述内部时钟信号的边沿而获得的多个延迟边沿相对应的多个边沿检测信号；多个锁存电路，被配置为将所述单脉冲信号与所述多个边沿检测信号同步地锁存，并输出多个采样信号；以及计数子电路，被配置为对多个采样信号中的激活的采样信号的数目进行计数，并且基于激活的采样信号的计数数目来输出计数值。