本发明涉及一种橡胶密封件表面减摩及储油膜层的制备方法，该方法包括以下步骤：⑴制备基底材料：将橡胶弹性体与固化剂混合后浇铸在母板模具上，经烘烤、剥离形成均匀的微凹坑阵列，即得基底材料；⑵将基底材料经清洗、干燥，即得处理后的基底材料；⑶处理后的基底材料冷却至室温后装入真空腔中，并抽真空至1.0×10–2 Pa；⑷向真空腔中通入净化空气后利用高功率脉冲离子源进行空气等离子体轰击；⑸向真空腔中通入Ar、H2、CH4气体，利用高功率脉冲离子源进行离化沉积，即可在橡胶表面凹坑底部、侧部处得到凹凸起伏且分割式类金刚石薄膜，待真空腔内温度冷却至室温后取出即可。本发明工艺简单、易于工业化应用，所得的硬质类金刚石薄膜性能优良。