一种抛光用无纺布
Abstract:
本发明涉及无纺布领域,具体为一种抛光用无纺布。该无纺布的配方中包括10%-40%的尼龙短纤维;5-35%的涤纶短纤维和20%-50%的三聚氰胺短纤维;制备方法同常规无纺布的制备工艺。采用该配方制备得到的无纺布耐温,具有良好的耐碱性,更适宜抛光使用,可应用于细微抛光,如CMP工艺中。
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