刻蚀后硅片边缘电阻的测试方法及装置
Abstract:
本发明实施例提供的一种刻蚀后硅片边缘电阻的测试方法及装置,该方法通过在刻蚀后硅片的前表面的测试点输入预设电信号,并在背离前表面的背表面的测试点获取输出的电信号,以根据预设电信号和输出的电信号,计算出刻蚀后硅片的边缘电阻。本发明实施例提供的一种刻蚀后硅片边缘电阻的测试方法及装置,能够对所有刻蚀后的硅片进行测试,提高测试效率和测试数据的准确度,进而提高生产效率和产品良率。
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