一种温控粘附式Micro-LED巨量转移方法
Abstract:
一种温控粘附式Micro‑LED巨量转移方法,包括如下步骤:A、设置自装结构,晶片一面加工有正极引脚和负极引脚,另一面加工有自组装微结构,转移基板加工有自承接微结构,自组装微结构和自承接微结构相互装配,自承接微结构表面涂覆有温控粘附层;B、开始自装工作,使用容器盛水,将晶片分散到水中,转移基板浸泡在水中,通过加热装置使水温度升高,同时使用搅拌器搅拌水;C、开始转移工作,停止对水的加热和搅拌,取出转移基板,将目标衬底浸泡在高温的水中,再将转移基板放入高温水与目标衬底对齐,降低水的温度,使Micro‑LED晶片脱离转移基板,落到目标衬底上;该方法采用物理原理进行转移,不会影响到晶片本身。
Public/Granted literature
Patent Agency Ranking
0/0