物镜数值孔径的检测方法及装置
Abstract:
本发明公开了一种物镜数值孔径的检测方法及装置,其中检测装置,包括波像差探测器和反射镜,波像差探测器具有用于发射和接收测量光的收发端,反射镜具有用于反射测量光的凹球反射面,波像差探测器的收发端和反射镜的凹球反射面相对设置,并在两者之间设有用于放置被测物镜的空间;反射镜可沿光轴移动的设置,用于移动至与被测物镜的共焦和离焦位置反射测量光至被测物镜。由于波像差探测器能够通过发射和接收反射的双程测量光检测出被测物镜的波像差,使得本检测装置通过双程波像差能够更高精度的检测出被测物镜的数值孔径,并适用于检测干式物镜和浸泡物镜的数值孔径。
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