多点矩阵式电涡流传感器检测金属平面度检测方法
Abstract:
本发明公开了一种多点矩阵式电涡流传感器检测金属平面度检测方法,首先传感器采用多折线图进行标定,将传感器安装到检测工装上,对传感器的安装高度进行校准,对传感器在待检测工件上平面位置用水平面坐标进行标定,将各传感器到待检测工件平面间的测量值以及转换得到的实际距离值和安装高度误差,形成每个检测点的空间坐标,采用多点最小二乘法计算得出该测量面的平面度偏差值。本发明提供的检测方法具有检测精度高、检测时间快、电涡流传感器布放死角小、不用接触工件测量等优点,本发明可以应用于各种金属平面的表面平面度检测,对有高反射率或表面不能接触的金属面,在不能使用传统的机械接触测量或激光位移传感器测量时均可适用。
Public/Granted literature
Patent Agency Ranking
0/0