一种半椭球反射面的光学性能综合评价方法
Abstract:
本发明提出了一种半椭球反射面光学性能综合评价方法。该方法包括整体面形检测和反射率测量;其中整体面形检测主要是在半椭球焦点A、B处分别放置漫透射板和第一相机;经过扩束准直的激光被分束镜分光,分束镜反射光入射至漫透射板,经散射后到达半椭球反射面,由半椭球反射面反射汇聚至第一相机;在分束镜透射光路上与焦点A等光程处摆放第二相机;第二相机、第一相机分别拍摄入射光斑、光斑共轭像;对比入射光斑与其共轭像,根据共轭像失真、模糊程度,对面形精度和表面粗糙度进行评价;反射率测量包括局部反射率测量和总反射率测量。本发明具有检测效率高、实施成本低、易操作、抗干扰、系统全面等优点。
Public/Granted literature
Patent Agency Ranking
0/0