Invention Publication
- Patent Title: 光电流扫描系统
- Patent Title (English): Light current scanning system
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Application No.: CN201810123474.3Application Date: 2018-02-07
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Publication No.: CN110118725APublication Date: 2019-08-13
- Inventor: 张科 , 魏洋 , 范守善
- Applicant: 清华大学 , 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司
- Applicant Address: 北京市海淀区清华大学清华-富士康纳米科技研究中心401室
- Assignee: 清华大学,鸿富锦精密工业(深圳)有限公司
- Current Assignee: 清华大学,鸿富锦精密工业(深圳)有限公司
- Current Assignee Address: 北京市海淀区清华大学清华-富士康纳米科技研究中心401室
- Main IPC: G01N21/01
- IPC: G01N21/01

Abstract:
本发明涉及一种光电流扫描系统,包括一激光发生装置、一聚焦装置、一位移调整装置、一偏压供给装置及一测量装置;所述激光发生装置用于发射激光,所述聚焦装置用于将激光聚焦到所述位移调整装置中待测样品表面;所述位移调整装置用于驱动所述待测样品,使激光照射到待测样品表面的不同部位;所述偏压供给装置用于向所述待测样品提供电压;所述测量装置用于测量流过所述待测样品的电流信号。
Public/Granted literature
- CN110118725B 光电流扫描系统 Public/Granted day:2021-08-31
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