探针、检查夹具、检查单元和检查装置
Abstract:
本发明提供一种探针、检查夹具、检查单元和检查装置,该探针在相对于检查装置的接触方向不同的方向上可接触检查对象物,该检查夹具具备上述探针,该检查单元具备上述检查夹具,该检查装置具备上述检查单元。探针具备:第一接触部和第二接触部;配置在第一接触部和第二接触部之间的中间部;使第一接触部相对于中间部在第一排列方向上移动的第一弹性部;以及使第二接触部相对于中间部在与第一排列方向交叉的方向上移动的可动部。
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