一种基于自适应专家系统的真空浓度预估方法
Abstract:
本发明涉及一种基于自适应专家系统的真空浓度预估方法,包括参数设定模块、测量模块、数据计算模块、工艺点采样模块、工艺点过滤模块、专家库模块、实时计算模块、输出模块以及集成控制系统,包括以下步骤(1)参数查阅、(2)数据测量、(3)数据计算、(4)工艺点采样、(5)工艺点过滤、(6)专家库更新、(7)实时计算并输出、(8)外部控制;可以实现多维存储、自动优化、动态建模、具有较高的自适应能力。
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