Invention Publication
- Patent Title: 一种基于自适应专家系统的真空浓度预估方法
- Patent Title (English): Vacuum concentration estimation method based on self-adaptive expert system
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Application No.: CN201810115205.2Application Date: 2018-02-06
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Publication No.: CN110119517APublication Date: 2019-08-13
- Inventor: 张洪涛 , 丁志兵 , 李阿福 , 吴晨
- Applicant: 镇江市亿华系统集成有限公司
- Applicant Address: 江苏省镇江市新区丁卯科技新城潘宗路30号
- Assignee: 镇江市亿华系统集成有限公司
- Current Assignee: 镇江市亿华系统集成有限公司
- Current Assignee Address: 江苏省镇江市新区丁卯科技新城潘宗路30号
- Main IPC: G06F17/50
- IPC: G06F17/50

Abstract:
本发明涉及一种基于自适应专家系统的真空浓度预估方法,包括参数设定模块、测量模块、数据计算模块、工艺点采样模块、工艺点过滤模块、专家库模块、实时计算模块、输出模块以及集成控制系统,包括以下步骤(1)参数查阅、(2)数据测量、(3)数据计算、(4)工艺点采样、(5)工艺点过滤、(6)专家库更新、(7)实时计算并输出、(8)外部控制;可以实现多维存储、自动优化、动态建模、具有较高的自适应能力。
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