三维半导体存储器件
Abstract:
一种三维(3D)半导体存储器件包括:源极导电图案,在衬底上并平行于衬底的顶表面延伸;以及电极结构,包括在垂直于衬底的顶表面的第一方向上顺序地堆叠在源极导电图案上的擦除控制栅电极、地选择栅电极、单元栅电极和串选择栅电极。
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