Invention Publication
- Patent Title: 半导体器件、其制造方法、集成电路及电子设备
- Patent Title (English): Semiconductor device, manufacturing method thereof, integrated circuit and electronic equipment
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Application No.: CN201910378850.8Application Date: 2019-05-08
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Publication No.: CN110120424APublication Date: 2019-08-13
- Inventor: 黄伟兴
- Applicant: 中国科学院微电子研究所
- Applicant Address: 北京市朝阳区北土城西路3号
- Assignee: 中国科学院微电子研究所
- Current Assignee: 中国科学院微电子研究所
- Current Assignee Address: 北京市朝阳区北土城西路3号
- Agency: 中科专利商标代理有限责任公司
- Agent 倪斌
- Main IPC: H01L29/78
- IPC: H01L29/78 ; H01L21/336

Abstract:
本发明公开了一种半导体器件、其制造方法、集成电路及电子设备,器件包括:衬底;有源区,该有源区包括依次叠置在衬底上的第一源/漏层、沟道层和第二源/漏层;绕沟道层的外周形成的栅堆叠;绕栅堆叠和有源区外周的中间介质层和第二导电层;应力源,设置于第二导电层和/或中间介质层上,用于向半导体器件的沟道施加应力。该半导体器件能够增加沟道载流子迁移率,从而增加半导体器件导通电流,并且应力能够增加负电容材料的铁电相,从而降低亚阈值摆幅,以增加半导体器件的导通电流,改善并优化半导体器件的性能。
Public/Granted literature
- CN110120424B 半导体器件、其制造方法、集成电路及电子设备 Public/Granted day:2022-03-22
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IPC分类: