Invention Publication
- Patent Title: 具有非c轴优选压电层的薄膜体声波谐振器
- Patent Title (English): A film bulk acoustic wave resonator having non-c-axis preferred piezoelectric layer
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Application No.: CN201810111237.5Application Date: 2018-02-05
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Publication No.: CN110120793APublication Date: 2019-08-13
- Inventor: 赵俊武 , 林瑞钦
- Applicant: 武汉衍熙微器件有限公司
- Applicant Address: 湖北省武汉市江夏区经济开发区藏龙岛梁山头村惠风同庆花园一期G17-S栋1-2层6室
- Assignee: 武汉衍熙微器件有限公司
- Current Assignee: 武汉衍熙微器件有限公司
- Current Assignee Address: 湖北省武汉市江夏区经济开发区藏龙岛梁山头村惠风同庆花园一期G17-S栋1-2层6室
- Agency: 湖北武汉永嘉专利代理有限公司
- Agent 王丹
- Main IPC: H03H9/02
- IPC: H03H9/02

Abstract:
本发明提供一种具有非c轴优选压电层的薄膜体声波谐振器,包括从下到上依次设置的基底、第一电极、压电层和第二电极,基底与第一电极之间设有反射界面;其中压电层的中间部分位于有源区,压电层包括c轴优选压电层,所述的压电层中还包括非c轴优选压电层,所述的c轴优选压电层的一部分或全部位于非c轴优选压电层的内侧;其中位于内侧的c轴优选压电层被非c轴优选压电层包围,且位于有源区内。本发明通过在压电层设置非c轴优选压电层,从而在压电层能够抑制c轴优选压电层产生的侧向波或是寄生模态的共振,进而提升谐振器的Q值并减小寄生谐振。
Public/Granted literature
- CN110120793B 具有非c轴优选压电层的薄膜体声波谐振器 Public/Granted day:2024-11-12
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