应变体及具备该应变体的力传感器
Abstract:
本发明提供能够确保电极端子与引线端子之间的可靠的电连接且提高可靠性的应变体及具备该应变体的力传感器。实施方式的应变体16具备:中央部161;外周部162,包围中央部的周围;多个连接部163,将中央部与外周部连接;多个变形传感器S1~S32,设置于连接部的主表面上;多个参考电阻RS4~RS30,设置于中央部的主表面上,与多个变形传感器一起构成桥接电路;电极171,设置于中央部的主表面上,与多个变形传感器及多个参考电阻进行电连接,用于取出桥接电路的检测信号;引线182,将电极与外部进行电连接;及各向异性导电膜181,设置于电极与引线之间,将电极的端子与引线的端子进行电连接。
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