本发明提供一种自生非金属氧化物复合膜提高铜抗氧化能力的方法，通过向Cu中添加微量Si元素使其表面形成Cu@SiO2复合物附着膜提高金属Cu及其制品的高温抗氧化能力。本方法是将微量Si与Cu混合，在真空熔炼炉中反复熔炼，制成轻掺杂CuSi合金。添加的微量元素Si在Ar‑20％H2气氛中退火通过偏析作用使合金中的微量Si偏析到合金表面，与退火气氛中残余的O2反应生成SiO2，进而形成熔点较高且性能稳定的Cu@SiO2复合物附着膜，使CuSi合金在高温纯氧的条件下保证Cu金属基体不被氧化。该方法保证了铜基零部件及设备使用的可靠性，降低成本，减少工业浪费。