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磷酸刻蚀溶液
Abstract:
本发明提供一种磷酸刻蚀溶液,其包括磷酸刻蚀剂及硅刻蚀抑制剂,所述硅刻蚀抑制剂包括还原性添加剂。所述磷酸刻蚀溶液能够避免外延硅层被刻蚀,进而提高存储器的性能。
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