Invention Publication
- Patent Title: 基于原子力显微镜技术的峰值力轻敲与扭转共振复合方法
- Patent Title (English): Peak force tapping and torsional resonance combination method based on atomic force microscope technology
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Application No.: CN201911125440.9Application Date: 2019-11-18
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Publication No.: CN110763873APublication Date: 2020-02-07
- Inventor: 刘连庆 , 施佳林 , 于鹏 , 苏全民
- Applicant: 中国科学院沈阳自动化研究所
- Applicant Address: 辽宁省沈阳市沈河区南塔街114号
- Assignee: 中国科学院沈阳自动化研究所
- Current Assignee: 中国科学院沈阳自动化研究所
- Current Assignee Address: 辽宁省沈阳市沈河区南塔街114号
- Agency: 沈阳科苑专利商标代理有限公司
- Agent 王倩
- Main IPC: G01Q60/24
- IPC: G01Q60/24

Abstract:
本发明涉及基于原子力显微镜技术的峰值力轻敲与扭转共振复合方法。使用峰值力轻敲模式(Peak Force Tapping mode)和扭转共振模式(Torsional Resonance mode)的复合模式来进行成像和样本物性测量及表征,利用峰值力轻敲模式控制针尖与样品之间的相互作用,在峰值力轻敲模式工作的同时利用转共振模式测量样品横向物理特性。本发明弥补了扭转共振模式对样品有特殊要求的缺陷,也解决了扭转共振模式下针尖与样品的垂直相互作用力大的问题。
Public/Granted literature
- CN110763873B 基于原子力显微镜技术的峰值力轻敲与扭转共振复合方法 Public/Granted day:2021-04-13
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