一种使多晶硅中磷元素均匀分布的装置
Abstract:
本发明公开了一种使多晶硅中磷元素均匀分布的装置,属于多晶硅制备领域。本发明涉及的装置具有纵截面为矩形的炉壳,炉壳内设有纵截面为“凹”字型的保温层,保温层与炉壳不接触,保温层内部设有纵截面为“U”字型的石墨坩埚,石墨坩埚内装有硅溶液,石墨坩埚与保温层不接触,石墨坩埚底部外侧通过穿过保温层的坩埚推进支座与炉壳底部内壁相连,保温层顶面内侧设有数个石墨加热体。本发明涉及的装置通过改变施加热场控制固液界面的形貌,从而控制同一水平面上不同位置的凝固顺序,使边缘部分较之中间部分更早凝固,弥补同一水平面上,对流所导致的边缘区域磷元素含量较高的问题,使磷在水平截面上的均匀分布。
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