本发明提供了一种高效高分辨率的反光电子能谱实现装置，其特征在于：包括真空腔体、真空抽气装置、电子产生发射装置、样品固定装置、光子收集和传输装置和高分辨率光栅光谱分析仪器；所述电子产生发射装置的一端插入所述真空腔体内；所述真空抽气装置连接所述真空腔体；所述样品固定装置的一端在所述真空腔体内；所述高分辨率光栅光谱分析仪器设置在所述光子收集和传输装置上。一种高效高分辨率的反光电子能谱实现装置，所述高分辨率光栅光谱分析仪器替换为深紫外窄带滤波片和光子能量探测器；所述深紫外窄带滤波片和光子能量探测器相连。本发明的有益效果是：能够更高效地收集反光电子效应产生的光子，有效地提高系统的分辨率。