本发明公开了一种全介质偏振无关全内反射光栅及其制作方法，属于反射光栅技术领域，能够解决现有反射光栅刻蚀深度较大，生产成品率较低的问题。所述反射光栅包括基底、平板波导层和光栅层。基底引导入射光进入平板波导层，并使出射光射出；平板波导层设置在基底上，调节偏振方向平行于光栅槽型的入射光的衍射效率；光栅层设置在平板波导层上，调节偏振方向垂直于光栅槽型的入射光的衍射效率。本发明可以使TE光和TM光在-1级利特罗角入射条件下，理论上同时具有99％以上的衍射效率，在实际应用中同时具有95％以上的衍射效率。