Invention Publication
- Patent Title: 一种电压分段式的玻璃基掩埋式光波导连续生产方法
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Application No.: CN201911392536.1Application Date: 2019-12-30
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Publication No.: CN111025471APublication Date: 2020-04-17
- Inventor: 郝寅雷 , 邓鑫宸 , 蒋建光 , 牛梦华 , 车录锋 , 李宇波 , 余辉 , 杨建义
- Applicant: 浙江大学绍兴微电子研究中心 , 浙江大学 , 绍兴市科技创业投资有限公司
- Applicant Address: 浙江省绍兴市越城区皋埠镇银桥路326号
- Assignee: 浙江大学绍兴微电子研究中心,浙江大学,绍兴市科技创业投资有限公司
- Current Assignee: 浙江大学绍兴微电子研究中心,浙江大学,绍兴市科技创业投资有限公司
- Current Assignee Address: 浙江省绍兴市越城区皋埠镇银桥路326号
- Agency: 杭州君度专利代理事务所
- Agent 徐锋
- Main IPC: G02B6/13
- IPC: G02B6/13 ; G02B6/12 ; G02B6/122

Abstract:
本发明公开了一种电压分段式的玻璃基掩埋式光波导连续生产方法。放置隧道式高温炉,隧道式高温炉内有传送带和坩埚,传送带将坩埚从隧道式高温炉的进口端输送入隧道式高温炉,经高温离子迁移反应后输送至隧道式高温炉的出口端。隧道式高温炉设置有通过绝缘性滑轨接头连接的多段正电极滑轨组成正电极滑竿和负电极滑轨,坩埚在从隧道式高温炉进口端到出口端运输的过程中,玻璃基片两侧的电极引线分别在正电极滑竿和负电极滑轨上滑动,多段正电极滑轨依次可对玻璃基片施加电压。本发明可提高光波导芯片质量、提高生产效率、降低能耗的基础上,还可以减小掩埋式光波导制作过程中直流电场产生的焦耳热效应带来的不利影响。
Public/Granted literature
- CN111025471B 一种电压分段式的玻璃基掩埋式光波导连续生产方法 Public/Granted day:2021-04-13
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