本发明提供了一种电子级四氟化碳的纯化系统，包括洗涤系统、吸附系统和精馏系统，所述洗涤系统包括水洗塔和碱洗塔；所述洗涤系统具体为预洗涤塔、水洗涤塔、碱洗塔、热解塔、碱洗塔；所述吸附系统包括气液分离器、冷冻除水箱、吸附塔，所述吸附塔包括低压吸附塔、高压吸附塔；所述精馏系统包括储存罐、精馏塔、高压隔膜压缩机。本发明还提供了一种采用上述系统纯化电子级四氟化碳的方法，通过水洗、碱洗、热解、碱洗、气液分离、吸附、储存、精馏、充装得到纯度在99.9995％以上的电子级四氟化碳气体。